изображение Установка кластерного типа для осаждения тонких пленок Luminos
Лучшее
Производитель: 
Kurt J. Lesker
Страна: 
США
Артикул: 
Luminos
Стоимость: 
по запросу
Под заказ

 Luminos – многокамерная установка для осаждения и анализа тонких пленок для научных исследований, требующих переноса в вакууме между камерами.

Камеры с радиальным расположением присоединительных фланцев позволяют подключать до 6ти технологических модулей,  с габаритами подложек до 100х100 мм.

Области применения:

  • OLED/PLED пленки для научных исследований
  • Осаждение тонких пленок и их анализ
  • Осаждение пленок для приборостроени
  • Доступные методы осаждения:
  • Магнетронное распыление (ВЧ и DC)
  • Термическое осаждение металлов и неорганических веществ
  • Термическое осаждение органических веществ
  • Атомно-слоевое осаждение
  • Электронно-лучевое испарение

Операции при осаждении:

  • Подогрев подложек
  • Охлаждение
  • Смещение/наклон подложек
  •  Ионная очистка

Особенности:

  • Дверь для загрузки/выгрузки образцов и камера для подготовки образцов
  • Камеры из нержавеющей стали 304 диаметром 36''
  • Ручное устройство для переноса образцов между камерами
  • Моторизированная направляющая для перемещения и поднятия образцов
  • Пневматические клапаны между камерами для разделения процессов осаждения
  • До 9-ти низкотемпературных органических испарителей в камере
  • До 4-х термических источников испарения для металлических пленок

Опционально:

  • Камера для металлизации распылением
  • Камера для реактивной плазменной очистки
  • Компьютерный контроль автоматизации процесса