- Производитель:
- Kurt J. Lesker
- Страна:
- США
- Артикул:
- Luminos
- Стоимость:
- по запросу
Luminos – многокамерная установка для осаждения и анализа тонких пленок для научных исследований, требующих переноса в вакууме между камерами.
Камеры с радиальным расположением присоединительных фланцев позволяют подключать до 6ти технологических модулей, с габаритами подложек до 100х100 мм.
Области применения:
- OLED/PLED пленки для научных исследований
- Осаждение тонких пленок и их анализ
- Осаждение пленок для приборостроени
- Доступные методы осаждения:
- Магнетронное распыление (ВЧ и DC)
- Термическое осаждение металлов и неорганических веществ
- Термическое осаждение органических веществ
- Атомно-слоевое осаждение
- Электронно-лучевое испарение
Операции при осаждении:
- Подогрев подложек
- Охлаждение
- Смещение/наклон подложек
- Ионная очистка
Особенности:
- Дверь для загрузки/выгрузки образцов и камера для подготовки образцов
- Камеры из нержавеющей стали 304 диаметром 36''
- Ручное устройство для переноса образцов между камерами
- Моторизированная направляющая для перемещения и поднятия образцов
- Пневматические клапаны между камерами для разделения процессов осаждения
- До 9-ти низкотемпературных органических испарителей в камере
- До 4-х термических источников испарения для металлических пленок
Опционально:
- Камера для металлизации распылением
- Камера для реактивной плазменной очистки
- Компьютерный контроль автоматизации процесса