изображение Установка вакуумного напыления тонких пленок LabLine Sputter 5
Лучшее
Производитель: 
Kurt J. Lesker
Страна: 
США
Артикул: 
LabLine Sputter 5
Стоимость: 
по запросу
Под заказ

 Установка вакуумного напыления тонких пленок LabLine Sputter 5 предназначена для магнетронного осаждения. Магнетронная система может содержать до 5-ти источников для осаждения пленок. Удобное программное обеспечение с графическим интерфейсом позволяет управлять не только профессионалам, но и новичкам. 

Применение:

  • Металлизация распылением для лабораторных исследований
  • Микроэлектроника
  • МЭМС и нанотехнологии
  • Напыление сверхпроводников
  • Биомедицинские тонкие пленки
  • Фотовльтаика
  • Оптические пленки и пленки для фотоники

Технические характеристики: 

Камера
Габариты: Ø356 х 518 мм
Материал: Нержавеющая сталь 304 L
Рабочее давление 5*10-8 Торр 
Вакуумный насос
Криогенный насос со скоростью откачки 1500 л/с
Магнетронная распылительная система Torus до 5 источников диаметром 2’’ и 3’’
Система нагрева/охлаждения Нагрев до 800 °С
Водяное охлаждение подложек
Контроль Система контроля тех.процесса и регистрация данных о работе