изображение Установка вакуумного напыления тонких пленок LAB Line E-Beam
Лучшее
Производитель: 
Kurt J. Lesker
Страна: 
США
Артикул: 
LAB Line E-Beam
Стоимость: 
по запросу
Под заказ

 Установка вакуумного напыления тонких пленок LAB Line E-Beam предназначена для осаждения пленок с помощью электронно-лучевого источника. Различное количество источников разных объемов позволять кастомизировать установку согласно Вашим требованиям.

Применение:
Металлизация элетронно-лучевым распылением для лабораторных исследований
Оптические пленки
Полупроводниковые пленки
Теневое осаждение

Технические характеристики:

Камера
Габариты: Ø356 х 915 мм
Материал: Нержавеющая сталь 304 L
Рабочее давление 5*10-8 Торр 
Вакуумный насос
Криогенный насос со скоростью откачки 1500 л/с
Электронно-лучевой источник
4 источника 8 см3
6 источников 20 см3
4 источника 7 см3 (для СВВ)
Мощность источника 10 кВт
Система нагрева/охлаждения Нагрев до 800 °С
Водяное охлаждение подложек
Контроль
Система контроля тех.процесса и регистрация данных о работе