Автоматическая установка кластерного типа для осаждения тонких пленок OCTOS
- Производитель:
- Kurt J. Lesker
- Страна:
- США
- Артикул:
- OCTOS
- Стоимость:
- по запросу
OCTOS – автоматическая установка кластерного типа для осаждения тонких пленок с автоматическим перемещением подложек между камерами.
Области применения:
- OLED/PLED пленки для научных исследований и производства
- Пленки с гигантским магнетосопротивлением для научных исследований и производства
- Фотоэлектрические пленки
- Органическая электроника
Доступные методы осаждения:
- Магнетронное распыление (ВЧ и DC или импульсногоDC тока)
- Термическое осаждение металлов и неорганических веществ
- Термическое осаждение органических веществ
- Электронно-лучевое испарение
- Органическая фотовольтаик
Операции при осаждении:
- Подогрев подложек
- Охлаждение
- Смещение/наклон подложек
- Ионная очистка
Особенности:
- Автоматическая загрузка/выгрузка подложек с кассетницой для подложек
- Автоматизированная система перемещения образцов
- Подключение до 6-ти камер для стандартной платформы OCTOS BH
- Линейная распылительная камера – доступна с линейной магнетронной системой распыления
- До 9-ти низкотемпературных органических испарителей в камере
- До 4-х термических источников испарения для металлических пленок
- Пластины для ВЧ-травления