Установка вакуумного резистивного термического напыления тонких пленок LAB Line NANO 36 Thermal

изображение Установка вакуумного резистивного термического напыления тонких пленок LAB Line NANO 36 Thermal
Лучшее
Производитель: 
Kurt J. Lesker
Страна: 
США
Артикул: 
LAB Line NANO 36 Thermal
Стоимость: 
по запросу

 Особенности:

  • Материал и форма камеры на выбор
  • Диффузионный и форвакуумный насосы для достижения предельного давления 1*10-10 Торр
  • Программируемый логический контроллер с сенсорным экраном

Технические характирстики:

Камера
Габариты: 12''x18'' стеклянная камера колпакового типа или 16''х16'' с алюминиевой дверью
Рабочее давление 2*10-7 Торр 
Вакуумный насос
Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 685 л/с
Резистивно-термический источник
До 4-х индивидуальных источников
Система нагрева/охлаждения Нагрев до 350 °С
Водяное охлаждение подложек
Контроль
Система контроля тех.процесса с тачскрин дисплеем