- Производитель:
- MTI Corporation
- Страна:
- США
- Артикул:
- VTC-1RF
- Стоимость:
- по запросу
VTC-1RF компактная установка магнетронного напыления для нанесения неметаллических, оксидных пленок.
Характеристики:
- Средняя мощность <800Вт (включая насос);
- Напряжение 220В, 50/60 Гц;
Источник энергии:
- ВЧ генератор 13.5 MГц, мощностью 100W с магнетроном и ручной системой управления;
- На заказ имеется ВЧ генератор мощностью 300W и автоматической системой управления;
Система ручного управления стоит дешевле, но потребует регулировки времени нанесения для каждой подложки. Автоматическая система сохраняет время;
Магнетрон:
- Один магнетрон с подводом водяного охлаждения;
- Заслонка для магнетрона;
- Размер мишени (Ø х толщина): 25,4х3,175 мм;
- Одна тестовая керамическая мишень Al2O3;
- Чиллер для циркуляции воды по системе;
Вакуумная камера:
- Колпак(внеш Ø, внутр Ø, высота): 160 х 150 х 250 мм. Материал – кварц;
- Алюминиевый фланец(Ø): 165 мм и силиконовое термостойкое уплотнительное кольцо.
- Стальная сетка для 100% экранирования ВЧ излучения от камеры
- Глубина вакуума: 10-4 Па
Подложкодержатель:
- Обеспечивает возможность вращения и разогрева подложек
- Размер подложек(Ø): 50 мм
- Скорость вращения: 1 - 10 об/мин
- Температура подложкодержателя до 700 ° C Макс с точностью ± 1,0 ° C через цифровой регулятор температуры.
Датчик толщины:
- Один высокоточный датчик с точностью ±0,01 нм встроен в камеру;
- Дисплей, отображающий общую толщину покрытия и скорость нанесения;
- Включены 5 расходных кварцевых датчика;
Вакуумный насос (опционально):
- Выходной фланец KF25 для подключения к насосу;
- Насос заказывается отдельно:
- Механический насос: 10-1 Па;
- Турбомолекулярный насос: 10-3 Па;
Вес: 50 кг;
Гарантия: 1 год ограниченной гарантии;
Сертификация: СЕ
UL / MET / CSA certified
Примечания: Установка предназначена для оксидного покрытия монокристаллов, следовательно, как правило, нет нужды в высоких требованиях к вакуумной установке.
Для того чтобы удалить кислород из камеры, используйте смесь 5% водорода + 95% азота. Совершая напуск в камеру, повторите процедуру 2-3 раза, это поможет снизить содержание до < 10 ppm.