- Производитель:
- MTI corp.
- Страна:
- США
- Артикул:
- OTF-1200X-80-II-F3LV-UL
- Стоимость:
- по запросу
OTF-1200X-80-II-F3LV-UL - двухзонная трубчатая печь с кварцевой трубкой Ø 80 мм, вакуумным механическим насосом и с трехканальной системой течения газов, способная нагревать обрацы до 1200С. Предельный вакуум - 10-2 Торр. Способна смешивать от 1-ого до 3-х видов газа для CVD метода или диффузии. Также включает в себя антикороззионый монометр для измерения давления в среде агрессивных газов.
Технические характеристики:
Конструкция печи
• Двухслойная стальная конструкция корпуса с воздушным охлаждением
• Встроенный термостат, автоматически запускаемый систему охлаждения при температуре стенок печи >550С
Электропитание ~220В, 50 Гц
Потребляемая мощность 2.5 кВт
Макс. рабочая температура 1200оС
Рабочая температура 400 - 1100°С
Зона нагрева Две зоны нагрева по 200 мм
Зона постоянной температуры 250 мм при двухзонном нагреве и 110 мм при однозонном нагреве
Скорость нагрева <200С/мин
Нагревательный элемент сплав Fe-Cr-Al, легированный Mo
Регулятор температуры
• Два высокоточных регуляторов температуры для регулирования температуры каждой из зон
• Два высокоточных регуляторов температуры для регулирования температуры каждой из зон
• Устройство ПИД управления с 30-ю программируемыми датчиками
• Система защиты от перегрева
• Порт RS485
Цифровой вакуумметр установлен на правой стороне фланца трубки и обеспечивает широкий диапазон измерения (до 10-5 Торр)
Система смешивания газов
Роторный вакуумный механический насос с ловушкой со скоростью откачки 120л/мин и предельным вакуумом 10-2 Торр
Размеры ДхШхВ, мм
• Печь 550х380х520
• Печь 550х380х520
• Нижняя передвижная часть 600х600х597
Вес ~60 кг