- Производитель:
- Kurt J. Lesker
- Страна:
- США
- Артикул:
- Mini-Spectros 100
- Стоимость:
- по запросу
Mini-Spectros 100 – Система осаждения органических и металлических тонких пленок на подложки габаритами до 100х100 мм
Особенности:
- Удобный доступ к рабочей области камеры для загрузки-выгрузки подложек
- До четырех источников для напыления органических пленок, объемом 1 или 10 см3
- До четырех источников для термического испарения
- Два магнетрона для распыления
- Спиральный и турбомолекулярный вакуумный насос для достижения вакуума до 10-7 торр
- Габариты подложек: до 150х150 мм или подложки диаметром до 150мм
- Конфигурация: Система нагрева подложек до 350°С, система охлаждения, перчаточный бокс (опционально)
Применение:
- Осаждение органических полупроводников
- Осаждение материалов катода
- Органические пленки
- Фотоэлектрические пленки
- OLED-пленки
- Тонкопленочные батареи
- МЭМС
Рабочая камера:
Материал: Нержавеющая сталь 304
Габариты (ШхДхВ): 355х432х585 мм
Насос:
Турбомолекулярный насос Pfeiffer 685 л/с с безмасляным форвакуумным насосом
Предельный вакуум 1*10-6 мбар
Равномерность осаждения ≤3% на подложку Si диаметром 6’’ или на подложку 100х100 (для алюминиевых пленок толщиной свыше 200 нм)
Контроль толщины пленки: толщина пленки и скорость осаждения контролируется с помощью программного обеспечения установки
Электропитание: 400 В, 3 фазы 32 А, 50 Гц