изображение Система осаждения органических и металлических тонких пленок Spectros 150
Лучшее
Производитель: 
Kurt J. Lesker
Страна: 
США
Артикул: 
Spectros 150
Стоимость: 
по запросу
Под заказ
Spectros 150 – Система для осаждения органических и металлических тонких пленок на подложки размерами до 150х150 мм
 
Особенности: 
С удобным доступом к рабочей области камеры для загрузки-выгрузки подложек
До десяти источников для напыления органических пленок, объемом 1 см3,10 см3 или 35 см3
До трех источников для термического испарения
Электронная пушка с несколькими источниками для электронно-лучевого напыления
Спиральный и турбомолекулярный вакуумный насос для достижения вакуума до 10-7 торр
Габариты подложек: до 150х150 мм
Конфигурация: Система нагрева подложек до 350°С, система охлаждения до -10°С, плазменная отчистка, перчаточный бокс (опционально)
 
Применение
Осаждение органических полупроводников
Осаждение материалов катода
Органические пленки
Фотоэлектрические пленки
OLED-пленки
Тонкопленочные батареи
МЭМС
 
Рабочая камера
Материал: Нержавеющая сталь 304
Габариты (ШхДхВ): 460х535х940 мм
Насос: Криогенный насос Brooks 1500 л/с с безмасляным спиральным насосом 
Предельный вакуум 1*10-6 мбар
Равномерность осаждения: ≤3% на подложку Si диаметром 8’’ или на подложку 150x150 (для алюминиевых пленок толщиной свыше 200 нм) 
Стол для подложек диаметром до 150мм или размерами 150х150мм со скоростью вращения 20 об/м
Контроль толщины пленки: толщина пленки и скорость осаждения контролируется с помощью программного обеспечения установки
Электропитание: 400 В, 3 фазы 32 А, 50 Гц