изображение Автоматическая установка кластерного типа для осаждения тонких пленок   OCTOS
Лучшее
Производитель: 
Kurt J. Lesker
Страна: 
США
Артикул: 
OCTOS
Стоимость: 
по запросу
Под заказ

 OCTOS – автоматическая установка кластерного типа для осаждения тонких пленок с автоматическим перемещением подложек между камерами.

Области применения:

  • OLED/PLED пленки для научных исследований и производства
  • Пленки с гигантским магнетосопротивлением для научных исследований и производства
  • Фотоэлектрические пленки
  • Органическая электроника

Доступные методы осаждения:

  • Магнетронное распыление (ВЧ и DC или импульсногоDC тока)
  • Термическое осаждение металлов и неорганических веществ
  • Термическое осаждение органических веществ
  • Электронно-лучевое испарение
  • Органическая фотовольтаик

Операции при осаждении:

  • Подогрев подложек
  • Охлаждение
  • Смещение/наклон подложек
  • Ионная очистка

Особенности:

  • Автоматическая загрузка/выгрузка подложек с кассетницой для подложек
  • Автоматизированная система перемещения образцов
  • Подключение до 6-ти камер для стандартной платформы OCTOS BH
  • Линейная распылительная камера – доступна с линейной магнетронной системой распыления
  • До 9-ти низкотемпературных органических испарителей в камере
  • До 4-х термических источников испарения для металлических пленок
  • Пластины для ВЧ-травления